IMS 為開發先進極紫外光刻（EUV）所需的多光束光罩寫入工具領域的行業領導者，該工具廣泛應用於如 AI 及移動服務。英特爾於 2009 年投資 IMS，2015 年收購了剩餘股份。台積電預計以不超過 4.328 億美元額度內自英特爾手中取得 1 成 IMS 股權，該釋股案初估第四季完成。