半導體設備大廠艾司摩爾在台砸重金投資，並針對 2 奈米晶圓光學量測設備研發製造，向經濟部申請 A+ 企業研發補助案。經濟部表示，將以兩面向審查，包括如何協助供應鏈技術升級以及國產自製率，最快 5 月拍板定案。